成膜ソリューション事業

成膜ソリューション事業とは

成膜ソリューション事業では、ミストCVD成膜技術を用いて形成した多種多様な金属酸化膜を、さまざまな応用分野に展開するお手伝いをしています。
FLOSFIAでは、お客様のご要望膜の種類・基板・膜厚・品質・用途に合わせた成膜レシピ(成膜条件など)のご提案やお客様のご要求や原材料に最適な装置開発のご提案も可能です。FLOSFIAでは、お客様がミストCVD法を用いた製品(アプリケーション)を普及するまでに必要とされていることを幅広くサポートすることに力を入れております。

成膜ソリューション事業の特徴

数千にもおよぶ成膜実績・ノウハウを活かし、1枚からのテスト成膜や成膜コンサルティング、薄膜評価サポート、またご要望される膜や被成膜試料の材料・特性にあわせた研究開発用装置・製造用装置の標準装置・カスタム装置の開発・販売も行っています。

非真空プロセスで高品質・高機能な膜を作製できるミストCVD法は、耐食性、電気伝導性、絶縁性などの機能性付与や微細加工などお客様の製品(アプリケーション)の付加価値を上げる技術として、環境・エネルギー関連、医療用器具関連など幅広い産業分野への展開が期待されています。

しかし、これまでミストCVD装置やミストCVD法を用いたことがない事業領域では、成膜条件の初期検討やトラブル対応が困難でした。 そこで、FLOSFIAでは、お客様の研究ステージや応用領域に合わせた装置仕様を標準化し、成膜レシピ、トラブル対応を考慮したご提案を行っております。FLOSFIAでこれまで蓄積してきたミストCVD成膜技術を活用し、ミストCVD装置やミストCVD法を用いて作製した薄膜、アプリケーション(半導体部品等)の販売を行います。

製品化までの流れ

1.【初期試験ステージ】プレテスト、初期検討

ミストCVD法のご経験がない方には、技術打合せを行ったうえで、プレテスト(初回)も行い、ミストCVD法により形成された酸化チタン・酸化アルミニウム・酸化シリコン・酸化スズをはじめとする各種金属酸化膜の品質をご確認いただけます。
さらに、初期検討では、耐食性・電気伝導性、絶縁性などお客様の要望する機能性付与が、お客様の想定する最終アプリケーションに適した条件(温度、大きさ、膜種など)のもと、ミストCVD法で実現可能かどうかを確かめるための初期試験(サンプル提供によるエピ膜の事前検討等)を行っております。
なお、薄膜評価までサポート、成膜技術のみならず作製直後から使用後までをフォローいたしますので、事前にミストCVD装置やミストCVD法についての知識は一切必要ありません。

2.【研究ステージ】本格検討、量産検討から【量産ステージ】量産体制構築・製造へ

次に、研究ステージでは、更に条件を厳しくした本格検討や共同開発等による試作機(量産装置)開発等を行っております。
さらに、量産ステージでは量産装置製造・販売・アフターサービス、或いは継続的な量産品(各種薄膜)の製造・販売やコーティング等を行っております。
なお、装置販売では、京都大学で開発された実績のある各種ミストCVD装置に加え、独自成膜方式の装置を取扱い、膜種・原材料に最適な装置仕様・手法・成膜条件をご提案しています。

製品化までの流れ

FLOSFIAではミストCVD成膜技術のプロだからこそ、お客様の抱える課題やニーズをお聞きして、解決までのアプローチを幅広くサポートいたします。

用途(応用例)と期待される効果

ミストCVD法の応用分野は広く、それぞれの分野で製造におけるCO2削減と、それによりもたらされたデバイス、機器の低価格化により普及が促進され、創エネルギーが加速することでCO2削減が進むという、正の帰還ループの形成が社会的に大きなインパクトをもたらすといえます。例えば、有機デバイス、燃料電池、太陽電池、パワーデバイス、コーティング分野等でミストCVD法を活用することで、産業における飛躍的な省エネルギーに繋げていくことができます。

エネルギー分野

エネルギー分野

太陽電池:新構造デバイスの実現・低コスト化
燃料電池:金属セパレータの実現
光デバイス:受発光層・下地材料の実現、高品質化
リチウムイオン電池:電極・全個体電池の実現

  • 酸化銅・ニッケル
  • 酸化インジウム
  • 酸化リチウム

製造・プラント分野

製造・プラント分野

耐食コーティング:安価材料の高機能化
電気伝導制御処理:電気伝導性/絶縁性の付与
金属コーティング:革新的メッキ処理(メッキ液不要)

  • 酸化クロム
  • 酸化アルミ
  • 酸化スズ
  • 酸化チタン

環境分野

環境分野

機能性ガラス:Onガラスデバイス実現・高付加価値
コーティング:耐食性向上・革新的メッキプロセス

  • 酸化アルミ
  • 酸化シリコン
  • 酸化チタン

医療・美容分野

医療・美容分野

コーティング:生体親和性付与

  • 酸化アルミ
  • 酸化チタン
パワーデバイス事業


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