ミストドライR技術

ミストドライ®技術

機能膜・電極・コーティング膜を高品質膜かつ非真空で実現

真空ポンプを使わずに高品質膜の成膜が可能です。金属酸化膜に加え、金属や有機膜の成膜を得意としています。

材料表面の溶解・改質も可能で、成膜プロセスとの組み合わせにより、製造ラインの省スペース化が可能です。

 

パワーデバイス事業

GaO™パワーデバイスはエネルギー・動力・
電源領域における問題解決の切り札

京大発の新材料、コランダム構造酸化ガリウムα-Ga2O3の特性を引き出し、変換損失を抑えた電源モジュールの実現に貢献します。

世界最小(当社調べ)のオン抵抗を有するSBDの試作に成功し、従来比最大9割の損失低減に結び付く技術を実現しました。

成膜ソリューション事業

ミストドライ®法を用い様々な
アプリケーション開発をサポート

成膜実績・ノウハウを活かし、1枚からのテスト成膜や膜質・基材の見直し、薄膜評価をサポートします。ミストドライ®法で製造した電子材料・電池材料・意匠膜など各種材料の供給も行います。

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